隨著(zhù)科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，許多工業(yè)產(chǎn)品的生產(chǎn)加工對生產(chǎn)環(huán)境的無(wú)塵車(chē)間工程中含塵濃度提出高的要求，這就需要其生產(chǎn)環(huán)境中具有一定的空氣潔凈等級和控制生產(chǎn)過(guò)程所需各類(lèi)相關(guān)物質(zhì)的供應質(zhì)量。例如，在膠片生產(chǎn)中，膠片若受到了塵埃的污染，將會(huì )發(fā)生乳劑氧化，活性減弱，pH值變化等，從而影響膠片的感光性能。下面工采網(wǎng)小編帶大家了解一下灰塵傳感器用于半導體集成電路生產(chǎn)潔凈室中的解決方案。

集成電路制造業(yè)是一個(gè)在超凈化環(huán)境中，使用超純材料進(jìn)行超微細加工的產(chǎn)業(yè)，半導體材料提純作為發(fā)展半導體器件的重要基礎。由于大規模和超大規模集成電路的工藝要求，為得到高純度的硅材料，原料和中間媒介的高純度和高精度恒溫恒濕工程生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度成為影響產(chǎn)品質(zhì)量的一個(gè)突出問(wèn)題。

集成電路芯片的成品率與芯片的缺陷密度有關(guān)，而芯片的缺陷密度與空氣中粒子個(gè)數有關(guān)。因此，集成電路的高速發(fā)展，不僅對空氣中控制粒子的尺寸有高的要求，而且也需進(jìn)一步控制粒子數；同時(shí)，對于超大規模集成電路生產(chǎn)環(huán)境中無(wú)塵車(chē)間工程的化學(xué)污染控制也有相關(guān)的要求。

集成電路生產(chǎn)過(guò)程中可能接觸到的主要污染物

集成電路生產(chǎn)中可能接觸到的主要污染有：微粒雜質(zhì)、無(wú)機離子、有機物質(zhì)、微生物以及氣體雜質(zhì)等。從廣義上說(shuō)，不適宜的溫度、濕度、照度、超過(guò)限度的靜電、電磁噪聲、空氣噪聲以及微振動(dòng)等，也是特殊的污染物。其中，微粒雜質(zhì)、無(wú)機離子、有機物質(zhì)、微生物以及氣體雜質(zhì)的數量超過(guò)一定限度時(shí)，就會(huì )是集成電路產(chǎn)品發(fā)生表面擦傷、圖形斷線(xiàn)、短路、針孔、剝離等現象，導致電路漏電、電特性異常。輕者影響電路性能和使用壽命，嚴重時(shí)可導致電路報廢。

鑒于這種情況，就需要使用灰塵傳感器來(lái)對半導體集成電路生產(chǎn)車(chē)間的環(huán)境進(jìn)行監測，保證產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境達到潔凈標準。工采網(wǎng)推薦使用韓國syhitech 灰塵傳感器／粉塵傳感器 － DSM501。

灰塵傳感器DSM501可以感知煙草產(chǎn)生的煙氣和花粉，房屋粉塵等，加熱自動(dòng)進(jìn)氣裝置，可調電阻設置檢測灰塵的大小。采用與粒子計算器相同原理為基礎，檢測出單位體積粒子的個(gè)數。

灰塵傳感器／粉塵傳感器／PM2．5傳感器DSM501特性：

灰塵傳感器DSM501可以感知煙草產(chǎn)生的煙氣和花粉，房屋粉塵等

1微米以上的微小粒子．

體積小，重量輕，便于安裝．

5V的輸入電路，便于信號處理．

內藏氣流發(fā)生器，可以自行吸引外部大氣．

保養簡(jiǎn)單，可以長(cháng)期保持傳感器的特性．